1968年，Internet的先驱，ARPANET建立。虽然ARPANET的设计目的是使研究人员在合作一个项目时可以共享代码和信息，但是它也成为了对开放源代码可行性的一个展示。
1969年，贝尔实验室的研究员Ken Thompson编写了Unix的第一个版本，这是一个多用户，多任务的操作系统。在整个七十年代，Unix的代码都在免费的传播，它迅速成为了在大学和研究机构中很流行的系统。
1971年，作为开放源码的先驱，Richard Stallman加入了麻省理工学院的一个专门研究免费软件的组织。作为Emacs文本编辑程序的开发者，他后来建立了GNU项目；这最终导致了免费的Linux操作系统的诞生。
1973年，来自DARPA(Defense Advanced Research Projects Agency)的Vinton Cerf和Bob Kahn开发了TCP/IP协议——该协议成为了Internet的网络基础。十年后，美国国防部为Internet命名，并且要求连入Internet的计算机都使用TCP/IP协议。
1979年，AT&T宣布了使Unix商业化的计划。这导致加州大学伯克利分校建立自己的Unix版本，称为BSD(Berkeley Software Distributions) Unix。BSD Unix被DEC和Sun这样的商业公司所接受。后来AT&T和Sun同意将各自的Unix版本合并，并且推进其竞争对手(DEC，HP，以及IBM)共同建立开放软件基金(Open Software Foundation)。
加州大学伯克利分校的一个学生，Eric Allman，开发了一个程序用来在ARPANET网上的计算机之间发送信息。Eric Allman随后将这个程序进一步改造成sendmail。今天，Internet上有超过75%的e-mail服务使用这个开放源码的程序来发送邮件。
1983年，为了反对软件所有权私有化的趋势，Stallman 建立了GNU计划来推进免费软件模型，并为此开发了一个免费的操作系统，应用程序以及开发工具。更重要的是，GNU建立了General Public License (GPL)，就是Copyleft，它成为许多开放源码软件所采用的模型。
1986年，Larry Wall建立了Perl(Practical Extraction and Report Language)，这是一种编写CGI程序广泛采用的通用编程语言。CGI为Web带来了更多动态内容。
1987年，开发者Andrew Tanenbaum发布了Minix，这是一个为PC，Mac，Amiga，以及Atari ST设计的Unix版本，在发布时带有完整的源代码。
1989年，芬兰赫尔辛基大学的一名学生Linus Torvalds为了超越Minix，发布了一个新的Unix变种——Linux。三年后，Linux正式接受GPL。今天，按照Red Hat Software的说法，全球有大约700万Linux用户。
1993年，FreeBSD 1.0发布。这个系统以BSD Unix为基础，包括网络，虚拟内存，任务切换，以及长文件名。BSD许可不需要开发者反馈任何东西。
1994年，Marc Ewing 建立Red Hat Linux，用以解决Linux易用性方面的问题。Red Hat包含Linux，第三方软件，文档，以及初级技术支持，售价为50美圆。Red Hat迅速成为领先的Linux发行人。同年，Bryan Sparks在前Novell CEO Ray Noorda的支持下建立Caldera。
1995年，Apache Group建立了一种新的Web Server——Apache，该服务器以NCSA(National Center for Supercomputing Applications)的HTTPd 1.3以及一系列的补丁为基础。这种免费的Web Server以及成为最流行的HTTP server。
1997年，程序员Eric S. Raymond(也是《新黑客字典》的作者)发表了名为“大教堂和集市”的文章，对比了商业开发模型以及开放源码开发模型。该文章成为Netscape的Mozilla.org的灵感。
1998年，Netscape宣布不仅其Communicator 5.0是免费的，而且还将发布其源代码。
几个主要的软件厂商，包括CA，Corel，IBM，Informix，Interbase，Oracle，以及Sybase，宣布了支持Linux的产品计划。
陷入反托拉斯诉讼的Microsoft，在一份声明中引linux为例用以说明其在操作系统方面没有垄断地位。不久以后，万圣节文档——一系列Microsoft内部讨论开放源码软件和linux威胁的备忘录被泄露给了开放源码团体，并且在Web上公布。
Sun Microsystem宣布计划将Java 2(以前被称为 JDK 1.2)的源码公开给开发人员，但是这是在一个修改协定控制下的。
1999年，Linux 2.2发布； GNOME 1.0 发布； 支持Linux 2.2的Red Hat 6.0发布； IBM推出全面支持Linux计划; HP宣布支持Linux;